·使用(yòng)于Wafer，CMOS-本體，基闆，CCD外殼粉屑、 雜(zá)質，Holder，Holder+IR，Lens，VCM等清除作業
·可(kě)調變速離心式
·全自動製程人(rén)機界面控制
·透明(míng)防爆門，作業安全确保
·鏡面不鏽鋼體封閉結構
·全系統儀表監測，符合ISO作業
·超大(dà)型Wash-Tank增加效率
·前置式作業，無二次污染
·1平方公尺設備空間，調配方便
·低噪音(yīn)，無污染-無塵室專用(yòng)設計
·純水(shuǐ)自動加壓過濾