單晶圓/陶瓷片超聲波光(guāng)阻噴塗機

本機是全自動的(de)超聲波噴塗機台，可(kě)實現取片、對(duì)位、噴塗、去邊、烘烤、放片等全自動作業。超聲波噴塗是利用(yòng)壓電材料将電能轉換爲機械能，以震蕩的(de)方式來(lái)霧化(huà)流體，可(kě)以得(de)到均勻且微細的(de)塗布液滴，以溫和(hé)且微細的(de)液滴從基材正上方開始沉積塗布，階梯覆蓋率的(de)表現更爲優越，也(yě)能有效提高(gāo)材料利用(yòng)率。利用(yòng)轉速跟噴頭移動速度做(zuò)配合，進行連續性的(de)旋轉噴塗，可(kě)有效提高(gāo)産能，更可(kě)消除一般設備來(lái)回噴塗時(shí)，因路徑不同所造成的(de)膜厚落差。并且本機采用(yòng)大(dà)口徑的(de)供料流道設計，能有效避免管路堵塞的(de)發生，減少設備停機維修時(shí)間，提高(gāo)設備使用(yòng)的(de)稼動率。腔體結構導入流場(chǎng)數值模拟規劃，用(yòng)以進行優化(huà)流道幾何設計，避免粒子回流污染塗布腔體。

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