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全自動單晶圓清洗機 AST-T02-CL
設備功能及特點：
晶圓全自動清洗機，8”/12” 共享機台，切換隻需更換FOUP内 Adaptor。
具備多(duō)功特性，針對(duì)不同應用(yòng)，集成不同功能。具備高(gāo)速離心旋轉、HPC、二流體、SC1 化(huà)學清洗及能加裝兆聲波等功能。
适用(yòng)于 Particle 清洗、Flux 清洗及光(guāng)阻殘留清洗等制程 。
流場(chǎng)模拟腔體設計，獨特的(de)密封設計，爲制程提供最潔淨的(de)清洗環境。
友善的(de)軟件接口，提供量産和(hé)工程安全便利的(de)芯片制程。
具備多(duō)功特性，針對(duì)不同應用(yòng)，集成不同功能。具備高(gāo)速離心旋轉、HPC、二流體、SC1 化(huà)學清洗及能加裝兆聲波等功能。
适用(yòng)于 Particle 清洗、Flux 清洗及光(guāng)阻殘留清洗等制程 。
流場(chǎng)模拟腔體設計，獨特的(de)密封設計，爲制程提供最潔淨的(de)清洗環境。
友善的(de)軟件接口，提供量産和(hé)工程安全便利的(de)芯片制程。
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