Si/ GaAs etc.
芯片料盒:4 [inch]×2片
*晶圓料盒
*面朝下(xià)放置
0.8~30[mm]
0.1~1.0t[mm]
2100個(gè)/基闆
陶瓷,環氧樹脂玻璃,柔性闆等
Max 110x60[mm]*4 piece set
Max 150×150[mm]*2piece set
0.03~1.0t[mm]
X,Y: ±2[Hm]
伺服馬達控制壓力
1~200[N] 精度保證在20 [N]内
1~5±0.5[F]
5.1*200[N]±10[%]
*常溫下(xià)實際壓力的(de)精度
陶瓷頭加熱(rè)
32mml CHINEN JIKCO Ltd
室溫~MAX400[℃],1[℃] step
最大(dà)180[Sec]
200[℃]:±5[℃] 20mm
更換加熱(rè)頭