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高(gāo)精度光(guāng)刻機

設備特點:

UV-LED光(guāng)源

安全又環保無需預熱(rè)冷(lěng)卻
選用(yòng) UV-LED 光(guāng)源不再需要預熱(rè)和(hé)冷(lěng)卻，因爲 LED 僅在曝光(guāng)期間打開。這(zhè)些因素顯著(zhe)有助于相對(duì)較低的(de)能源消耗。LED 的(de)使用(yòng)壽命比傳統燈高(gāo)出許多(duō)倍，從而降低了(le)更換燈泡所産生的(de)成本。停工、購(gòu)買新燈、調整和(hé)處理(lǐ)舊(jiù)材料都已成爲過去。使用(yòng) LED 燈箱既安全又環保，是健康和(hé)職業安全以及環境保護方面的(de)重要進步。

高(gāo)精度自動套刻系統

性能提升品質升級
作爲全場(chǎng)曝光(guāng)系統， CI-150A/CI-200A能夠一次曝光(guāng)150mm/200mm 晶圓,此系統光(guāng)均勻性已超過95%，更能提升産品品質。它更高(gāo)的(de)吞吐量和(hé)更低的(de)投資成本直接轉化(huà)爲更低的(de)擁有成本，使其成爲适用(yòng)于各種光(guāng)刻工藝的(de)最佳決方案。

卓越的(de)光(guāng)均勻性

高(gāo)精度更精準
采用(yòng)頂部對(duì) 準系統，選用(yòng)高(gāo) 清相機及大(dà)視野鏡頭，納米級對(duì) 位承載平台以及低頻(pín)隔振系統，在将掩模定位在晶圓上時(shí)可(kě)實現低至 0.5 μm 的(de) 對(duì)準精度。

主要技術參數：

波長(cháng) :

光(guāng)源 :

XX :

作業模式 :

照(zhào)度能量 :

照(zhào)度均勻性 :

曝光(guāng)有效範圍 :

曝光(guāng)模式 :

曝光(guāng)間隙 :

晶圓厚度 :

曝光(guāng)分(fēn)辨率(最小線寬) :

Theta軸移動精度 :

晶圓尺寸 :

光(guāng)罩尺寸 :

分(fēn)辨率 :

X軸運動行程 :

Y軸運動行程 :

放大(dà)倍率 :

視野範圍(FOV) :

對(duì)準精度 :

卡匣傳送方式 :

型式/Type :

對(duì)位精度 :

定位精度 :

圓片式(矽) :

I-Line 365

UV LED

DC電源模塊

恒電流

50mw/cm²(I-Line)

≤5%

170mm*170mm/230mm*230mm

近接式

10um

0.8mm—1.4mm

1um(最小0.35um)

±0.001°

4、5、6、8

5、6、7、9

100nm

±50mm

放大(dà)倍率

視野範圍(FOV)

對(duì)準精度

可(kě)選擇放置 A進A出或A進B出

6寸/8寸cassette/Open cassette

≤±0.5um

±0.1°

缺口/切邊